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Walther, F. ; Drobek, T. ; Gigler, A. M. ; Hennemeyer, M. ; Kaiser, M. ; Herberg, H. ; Shimitsu, T. ; Morfill, G. E. ; Stark, R. W. (2010)
Surface hydrophilisation of SU-8 by plasma and wet chemical processes.
In: Surf. Interf. Anal, 42
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