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2000
Volz, K. ; Kiuchi, M. ; Okumura, M. ; Ensinger, W. (2000)
C–SiC–Si gradient films formed on silicon by ion beam assisted deposition at room temperature.
In: Surface and Coatings Technology, (128-129)
doi: 10.1016/S0257-8972(00)00604-6
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