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Klein, Sylke ; Hahn, ; Balogh, ; Rück, ; Baumann, ; Michelmann, (1995)
Amorphisation of (100) oriented silicon by self implantation.
In: Institut für Kernphysik der J. W. Goethe Universität, Frankfurt/Main: Jahresbericht 1995, S. 45
Artikel, Bibliographie