Konferenzveröffentlichung

Ionescu, E. ; Martinez Crespiera, S. ; Schlosser, M. ; Flittner, K. ; Schlaak, Helmut F. ; Riedel, R. (2011)
Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren.
Mikrosystemtechnik Kongress 2011. Darmstadt (10.10.2011-12.10.2011)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie