Ionescu, E. ; Martinez Crespiera, S. ; Schlosser, M. ; Flittner, K. ; Schlaak, Helmut F. ; Riedel, R. (2011)
Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren.
Mikrosystemtechnik Kongress 2011. Darmstadt (10. - 12.10.2011)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2011 |
| Autor(en): | Ionescu, E. ; Martinez Crespiera, S. ; Schlosser, M. ; Flittner, K. ; Schlaak, Helmut F. ; Riedel, R. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 10 Oktober 2011 |
| Veranstaltungstitel: | Mikrosystemtechnik Kongress 2011 |
| Veranstaltungsort: | Darmstadt |
| Veranstaltungsdatum: | 10. - 12.10.2011 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 21 Mär 2012 08:09 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:35 |
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