TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren

Ionescu, E. and Martinez Crespiera, S. and Schlosser, M. and Flittner, K. and Schlaak, Helmut F. and Riedel, R. (2011):
Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren.
In: Mikrosystemtechnik Kongress 2011, Darmstadt, 10. - 12.10.2011, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2011
Creators: Ionescu, E. and Martinez Crespiera, S. and Schlosser, M. and Flittner, K. and Schlaak, Helmut F. and Riedel, R.
Title: Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren
Language: German
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Event Title: Mikrosystemtechnik Kongress 2011
Event Location: Darmstadt
Event Dates: 10. - 12.10.2011
Date Deposited: 21 Mar 2012 08:09
Export:

Optionen (nur für Redakteure)

View Item View Item