Konferenzveröffentlichung

Ichizli, Victoria M. ; Rodriguez-Girones, M. ; Lin, Ch.-I. ; Szeliga, P. ; Hartnagel, H. L. (2001)
The effect of glas plasma on the deposition quality of Schottky metals and interconnect metallisation for planar diodes structure for THz applications.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie