Ichizli, Victoria M. ; Rodriguez-Girones, M. ; Lin, Ch.-I. ; Szeliga, P. ; Hartnagel, H. L. (2001)
The effect of glas plasma on the deposition quality of Schottky metals and interconnect metallisation for planar diodes structure for THz applications.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2001 |
| Autor(en): | Ichizli, Victoria M. ; Rodriguez-Girones, M. ; Lin, Ch.-I. ; Szeliga, P. ; Hartnagel, H. L. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | The effect of glas plasma on the deposition quality of Schottky metals and interconnect metallisation for planar diodes structure for THz applications |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2001 |
| Reihe: | International Conference on THz Electronics <9, 2001, Charlottesville, Virginia>: Proceedings |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:28 |
| Letzte Änderung: | 14 Feb 2019 10:47 |
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