Konferenzveröffentlichung

Langheinrich, Werner A. ; Killat, Dirk
Hrsg.: Sessler, Gerhard Martin (1995)
Ein Verfahren zur Auswertung mikromechanischer Drehmomentsensoren mit hallempfindlichen Sensorenelementen.
ITG-Fachtagung. Bad Nauheim (14.03.1994-16.03.1994)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Langheinrich, Werner A. ; Killat, Dirk ; Schilling, Frank
Hrsg.: Sessler, Gerhard M. (1994)
Simulation und Auswirkung umweltbedingter Geometriefehler in kapazitiven mikromechanischen Beschleunigungssensoren.
ITG-Fachtagung. Bad Nauheim (14.03.1994-16.03.1994)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie