TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Simulation und Auswirkung umweltbedingter Geometriefehler in kapazitiven mikromechanischen Beschleunigungssensoren

Langheinrich, Werner A. and Killat, and Schilling, (1995):
Simulation und Auswirkung umweltbedingter Geometriefehler in kapazitiven mikromechanischen Beschleunigungssensoren.
In: Sensoren-Technologie und ihre Anwendung. - Berlin (u.a.): VDE-Verl., 1995. S. 513-518, Berlin (u.a.), VDE-Verl, [Book Section]

Item Type: Book Section
Erschienen: 1995
Creators: Langheinrich, Werner A. and Killat, and Schilling,
Title: Simulation und Auswirkung umweltbedingter Geometriefehler in kapazitiven mikromechanischen Beschleunigungssensoren
Language: German
Title of Book: Sensoren-Technologie und ihre Anwendung. - Berlin (u.a.): VDE-Verl., 1995. S. 513-518
Volume: 126
Place of Publication: Berlin (u.a.)
Publisher: VDE-Verl
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:22
License: [undefiniert]
Export:
Suche nach Titel in: TUfind oder in Google
Send an inquiry Send an inquiry

Options (only for editors)
Show editorial Details Show editorial Details