Langheinrich, Werner A. ; Killat, Dirk ; Schilling, Frank
Hrsg.: Sessler, Gerhard M. (1994)
Simulation und Auswirkung umweltbedingter Geometriefehler in kapazitiven mikromechanischen Beschleunigungssensoren.
ITG-Fachtagung. Bad Nauheim (14. bis 16. März 1994)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 1994 |
| Herausgeber: | Sessler, Gerhard M. |
| Autor(en): | Langheinrich, Werner A. ; Killat, Dirk ; Schilling, Frank |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Simulation und Auswirkung umweltbedingter Geometriefehler in kapazitiven mikromechanischen Beschleunigungssensoren |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 1994 |
| Ort: | Berlin |
| Verlag: | VDE |
| Buchtitel: | Sensoren-Technologie und ihre Anwendung |
| Reihe: | ITG-Fachberichte |
| Band einer Reihe: | 126 |
| Veranstaltungstitel: | ITG-Fachtagung |
| Veranstaltungsort: | Bad Nauheim |
| Veranstaltungsdatum: | 14. bis 16. März 1994 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:22 |
| Letzte Änderung: | 18 Jan 2024 12:34 |
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