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Simulation und Auswirkung umweltbedingter Geometriefehler in kapazitiven mikromechanischen Beschleunigungssensoren

Langheinrich, Werner A. ; Killat, ; Schilling, :
Simulation und Auswirkung umweltbedingter Geometriefehler in kapazitiven mikromechanischen Beschleunigungssensoren.
In: Sensoren-Technologie und ihre Anwendung. - Berlin (u.a.): VDE-Verl., 1995. S. 513-518. VDE-Verl, Berlin (u.a.)
[Buchkapitel], (1995)

Typ des Eintrags: Buchkapitel
Erschienen: 1995
Autor(en): Langheinrich, Werner A. ; Killat, ; Schilling,
Titel: Simulation und Auswirkung umweltbedingter Geometriefehler in kapazitiven mikromechanischen Beschleunigungssensoren
Sprache: Deutsch
Buchtitel: Sensoren-Technologie und ihre Anwendung. - Berlin (u.a.): VDE-Verl., 1995. S. 513-518
Band: 126
Ort: Berlin (u.a.)
Verlag: VDE-Verl
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:22
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