Englisch

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Rubio-Sierra, F. J. ; Burghardt, S. ; Kempe, A. ; Heckl, W. M. ; Stark, R. W. (2004)
Atomic force microscope based nanomanipulator for mechanical and optical lithography.
Proc. 2004 4th IEEE Conf. Nanotechnology. Munich, Germany (17.08.2004-19.08.2004)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie