TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Atomic force microscope based nanomanipulator for mechanical and optical lithography

Rubio-Sierra, F. J. ; Burghardt, S. ; Kempe, A. ; Heckl, W. M. ; Stark, R. W. (2004)
Atomic force microscope based nanomanipulator for mechanical and optical lithography.
Proc. 2004 4th IEEE Conf. Nanotechnology. Munich, Germany (17.-19. Aug)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2004
Autor(en): Rubio-Sierra, F. J. ; Burghardt, S. ; Kempe, A. ; Heckl, W. M. ; Stark, R. W.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Atomic force microscope based nanomanipulator for mechanical and optical lithography
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 2004
Veranstaltungstitel: Proc. 2004 4th IEEE Conf. Nanotechnology
Veranstaltungsort: Munich, Germany
Veranstaltungsdatum: 17.-19. Aug
Fachbereich(e)/-gebiet(e): ?? fb99_csi~fg5 ??
nicht bekannt
Zentrale Einrichtungen
Hinterlegungsdatum: 05 Jul 2010 12:54
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 09:35
PPN:
Export:
Suche nach Titel in: TUfind oder in Google
Frage zum Eintrag Frage zum Eintrag

Optionen (nur für Redakteure)
Redaktionelle Details anzeigen Redaktionelle Details anzeigen