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Konferenzveröffentlichung

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Konferenzveröffentlichung

Berberich, Stephan ; Godignon, P. ; Morvan, E. ; Fonseca, L. ; Millan, J. ; Hartnagel, H. L. (1999)
Electrical characterisation of Si3N4/SiO2 double layers on p-type 6H-SiC.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

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