Konferenzveröffentlichung

Gierl, C. ; Cole, G. D. ; Kögel, B. ; Jatta, S. ; Zogal, K. ; Davani, H. ; Meissner, P. (2009)
Mechanical properties of a movable micro-mirror membrane for electrostatically tunable optical filters and vertical-cavity surface-emitting lasers.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie