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Flege, Stefan ; Hatada, Ruriko ; Höfling, Marion ; Hanauer, A. ; Abel, A. ; Baba, Koumei ; Ensinger, Wolfgang :
Modification of diamond-like carbon films by nitrogen incorporation via plasma immersion ion implantation.
[Online-Edition: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0168583X15...]
In: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 365, Part A S. 357-361. ISSN 0168-583X
[Artikel] , (2015)

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