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Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen

Greiner, Felix ; Eberhardt, Johannes ; Schlaak, Helmut F. (2011):
Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen.
In: MikroSystemTechnik Kongress 2011: Proceedings, pp. 328-331,
VDE Verlag, MikroSystemTechnik Kongress 2011, Darmstadt, Germany, 10.-12.10.2011, ISBN 978-3-8007-3367-5,
[Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2011
Creators: Greiner, Felix ; Eberhardt, Johannes ; Schlaak, Helmut F.
Title: Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen
Language: German
Book Title: MikroSystemTechnik Kongress 2011: Proceedings
Publisher: VDE Verlag
ISBN: 978-3-8007-3367-5
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microtechnology and Electromechanical Systems
Event Title: MikroSystemTechnik Kongress 2011
Event Location: Darmstadt, Germany
Event Dates: 10.-12.10.2011
Date Deposited: 02 Nov 2011 09:04
PPN:
Export:
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