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Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen

Greiner, Felix ; Eberhardt, Johannes ; Schlaak, Helmut F. (2011)
Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen.
MikroSystemTechnik Kongress 2011. Darmstadt, Germany (10.-12.10.2011)
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2011
Creators: Greiner, Felix ; Eberhardt, Johannes ; Schlaak, Helmut F.
Type of entry: Bibliographie
Title: Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen
Language: German
Date: 11 October 2011
Publisher: VDE Verlag
Book Title: MikroSystemTechnik Kongress 2011: Proceedings
Event Title: MikroSystemTechnik Kongress 2011
Event Location: Darmstadt, Germany
Event Dates: 10.-12.10.2011
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microtechnology and Electromechanical Systems
Date Deposited: 02 Nov 2011 09:04
Last Modified: 01 Sep 2022 07:12
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