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Krause, B. ; Koops, G. H. ; Vegt, N. F. A. van der ; Wessling, M. ; Wübbenhorst, M. ; Turnhout, J. van (2002)
Ultralow-k dielectrics made by supercritical foaming of thin polymer films.
In: Advanced Materials, 14 (15)
doi: 10.1002/1521-4095(20020805)14:15<1041::AID-ADMA1041>3.0.CO;2-A
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