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Miao, Jianmin ; Rück, D. M. ; Tinschert, K. ; Hartnagel, Hans L. (1995)
Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen.
Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung. Darmstadt (1995)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie