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Lukes, Sarah J. ; Lämmle, David ; Dickensheets, David L.
Hrsg.: Schenk, Harald ; SPIE (2010)
Surface micro-machined SU-8 2002 membrane mirrors for focus control.
San Francisco, California, United States (25.01.2010-27.01.2010)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

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