Buchkapitel

Langheinrich, Werner A. ; Killat, (1995)
Ein Verfahren zur Auswertung mikromechanischer Drehmomentsensoren mit hallempfindlichen Sensorenelementen.
In: Sensoren-Technologie und ihre Anwendung
Buchkapitel, Bibliographie

Konferenzveröffentlichung

Langheinrich, Werner A. ; Killat, Dirk ; Schilling, Frank
Hrsg.: Sessler, Gerhard M. (1994)
Simulation und Auswirkung umweltbedingter Geometriefehler in kapazitiven mikromechanischen Beschleunigungssensoren.
ITG-Fachtagung. Bad Nauheim (14. bis 16. März 1994)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie