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Langheinrich, Werner A. ; Killat, (1995):
Ein Verfahren zur Auswertung mikromechanischer Drehmomentsensoren mit hallempfindlichen Sensorenelementen.
126, In: Sensoren-Technologie und ihre Anwendung. - Berlin (u.a.): VDE-Verl., 1995. S. 451-456, Berlin (u.a.), VDE-Verl, [Book Section]
Langheinrich, Werner A. ; Killat, ; Schilling, (1995):
Simulation und Auswirkung umweltbedingter Geometriefehler in kapazitiven mikromechanischen Beschleunigungssensoren.
126, In: Sensoren-Technologie und ihre Anwendung. - Berlin (u.a.): VDE-Verl., 1995. S. 513-518, Berlin (u.a.), VDE-Verl, [Book Section]