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Ruff, Philip ; Carrillo-Solano, Mercedes ; Ulrich, Nils ; Hadley, Andrea ; Kluth, Patrick ; Toimil-Molares, Maria Eugenia ; Trautmann, Christina ; Hess, Christian :
Nanoscale Structuring in Confined Geometries using Atomic Layer Deposition: Conformal Coating and Nanocavity Formation.
[Online-Edition: https://doi.org/10.1515/zpch-2017-1058]
In: Zeitschrift für Physikalische Chemie, Ahead of Print, 232 (7-8) S. 1147-1171. ISSN 2196-7156
[Artikel] , (2018)

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