TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

New scanning photoluminescence technique for quantitative mapping of the lifetime and of the doping density in processed silicon wafers

Krawczyk, S. K. ; Bejar, ; Kostka, ; Nuban, ; Warta, ; Joly, ; Blanchet, (1997)
New scanning photoluminescence technique for quantitative mapping of the lifetime and of the doping density in processed silicon wafers.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 1997
Autor(en): Krawczyk, S. K. ; Bejar, ; Kostka, ; Nuban, ; Warta, ; Joly, ; Blanchet,
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: New scanning photoluminescence technique for quantitative mapping of the lifetime and of the doping density in processed silicon wafers
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1 Januar 1997
Reihe: International Conference on Defect Recognition and Image Processing in Semiconductors <7, 1997, Templin, Germany>: Proceedings
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:04
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 08:39
PPN:
Export:
Suche nach Titel in: TUfind oder in Google
Frage zum Eintrag Frage zum Eintrag

Optionen (nur für Redakteure)
Redaktionelle Details anzeigen Redaktionelle Details anzeigen