Typ des Eintrags: |
Konferenzveröffentlichung
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Erschienen: |
1997 |
Autor(en): |
Krawczyk, S. K. ; Bejar, ; Kostka, ; Nuban, ; Warta, ; Joly, ; Blanchet, |
Art des Eintrags: |
Bibliographie |
Titel: |
New scanning photoluminescence technique for quantitative mapping of the lifetime and of the doping density in processed silicon wafers |
Sprache: |
Englisch |
Publikationsjahr: |
1 Januar 1997 |
Reihe: |
International Conference on Defect Recognition and Image Processing in Semiconductors <7, 1997, Templin, Germany>: Proceedings |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): |
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
Hinterlegungsdatum: |
19 Nov 2008 16:04 |
Letzte Änderung: |
05 Mär 2013 08:39 |
PPN: |
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Export: |
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