Typ des Eintrags: |
Konferenzveröffentlichung
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Erschienen: |
1997 |
Herausgeber: |
Doneker, J. |
Autor(en): |
Krawczyk, S. K. ; Bejar, M. ; Nuban, N. F. ; Blanchet, R. C. ; Kostka, A. ; Warta, W. ; Joly, J. P. |
Art des Eintrags: |
Bibliographie |
Titel: |
New scanning photoluminescence technique for quantitative mapping of the lifetime and of the doping density in processed silicon wafers |
Sprache: |
Englisch |
Publikationsjahr: |
1997 |
Ort: |
Bristol |
Verlag: |
Inst. of Physics Publ. |
Buchtitel: |
Defect Recognition and Image Processing in Semiconductors 1997 |
Reihe: |
International Conference on Defect Recognition and Image Processing in Semiconductors <7, 1997, Templin, Germany>: Proceedings |
Kollation: |
4 Seiten |
Veranstaltungstitel: |
Seventh Conference on Defect Recognition and Image Processing |
Veranstaltungsort: |
Templin |
Veranstaltungsdatum: |
7.-10. September 1997 |
Zusätzliche Informationen: |
Chapter 31 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): |
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
Hinterlegungsdatum: |
19 Nov 2008 16:04 |
Letzte Änderung: |
18 Apr 2024 13:33 |
PPN: |
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Export: |
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