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Use of a nanostructured surface coating to achieve higher sputter rates

Flege, S. ; Hatada, R. ; Kaiser, T. ; Muench, F. ; Cherkashinin, G. ; Schwöbel, A. ; Ensinger, W. ; Baba, K. (2016)
Use of a nanostructured surface coating to achieve higher sputter rates.
In: Materials Letters, 164
doi: 10.1016/j.matlet.2015.11.059
Artikel, Bibliographie

Kurzbeschreibung (Abstract)

A method is presented which leads to a higher sputter rate as compared to the sputtering of the surface of a bulk sample under the same sputtering conditions: the target is coated beforehand by a separate process to produce a nanostructured film on its surface. In the case of silver, the sputter yield under ion bombardment is 1.7 times higher. If the ions for the bombardment are generated by a voltage applied to the sample, then improvements up to a factor of five can be realized. (C) 2015 Elsevier B.V. All rights reserved.

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2016
Autor(en): Flege, S. ; Hatada, R. ; Kaiser, T. ; Muench, F. ; Cherkashinin, G. ; Schwöbel, A. ; Ensinger, W. ; Baba, K.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Use of a nanostructured surface coating to achieve higher sputter rates
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1 Februar 2016
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Materials Letters
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 164
DOI: 10.1016/j.matlet.2015.11.059
Kurzbeschreibung (Abstract):

A method is presented which leads to a higher sputter rate as compared to the sputtering of the surface of a bulk sample under the same sputtering conditions: the target is coated beforehand by a separate process to produce a nanostructured film on its surface. In the case of silver, the sputter yield under ion bombardment is 1.7 times higher. If the ions for the bombardment are generated by a voltage applied to the sample, then improvements up to a factor of five can be realized. (C) 2015 Elsevier B.V. All rights reserved.

Freie Schlagworte: Sputtering, Nanostructures, Thin films
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Materialanalytik
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung
Hinterlegungsdatum: 06 Jun 2016 11:23
Letzte Änderung: 11 Jul 2016 06:27
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