Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Tinschert, K. ; Rück, D. (1994)
Fabrication of thin semi-insulating GaAs membranes by ion implantation and its application for piezoelectric actuators.
In: Gesellschaft für Schwerionenforschung: Scientific report, 1993
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1994 |
| Autor(en): | Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Tinschert, K. ; Rück, D. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Fabrication of thin semi-insulating GaAs membranes by ion implantation and its application for piezoelectric actuators |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1994 |
| Ort: | Darmstadt |
| Verlag: | GSI |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Gesellschaft für Schwerionenforschung: Scientific report |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 1993 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:54 |
| Letzte Änderung: | 13 Nov 2024 08:20 |
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