Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
High aspect ratio metal micro and nano pillars for minimal footprint MEMS suspension.
In: Microsystem Technologies
doi: 10.1007/s00542-012-1659-x
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2012 |
| Autor(en): | Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | High aspect ratio metal micro and nano pillars for minimal footprint MEMS suspension |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 13 September 2012 |
| Verlag: | Springer Verlag |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Microsystem Technologies |
| DOI: | 10.1007/s00542-012-1659-x |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Sep 2012 06:46 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 10:02 |
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