Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
Cleanroom Laboratory for Micro- and Nanotechnology.
4th International Target Fabrication Workshop. Mainz (19.08.2012-23.08.2012)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
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| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2012 |
| Autor(en): | Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Cleanroom Laboratory for Micro- and Nanotechnology |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2012 |
| Ort: | Mainz |
| Buchtitel: | Book of Abstracts on 4th International Target Fabrication Workshop |
| Veranstaltungstitel: | 4th International Target Fabrication Workshop |
| Veranstaltungsort: | Mainz |
| Veranstaltungsdatum: | 19.08.2012-23.08.2012 |
| Zugehörige Links: | |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 04 Sep 2012 13:12 |
| Letzte Änderung: | 02 Jul 2024 14:52 |
| PPN: | |
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Verfügbare Versionen dieses Eintrags
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Cleanroom Laboratory for Micro- and Nanotechnology. (deposited 19 Jun 2024 14:55)
- Cleanroom Laboratory for Micro- and Nanotechnology. (deposited 04 Sep 2012 13:12) [Gegenwärtig angezeigt]
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