Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. (2012)
MEMS Made in a Small Scale Research Lab - Opportunities for Functional Targets.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
URL / URN: http://targetfabrication.com/index.html
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2012 |
| Autor(en): | Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | MEMS Made in a Small Scale Research Lab - Opportunities for Functional Targets |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 20 August 2012 |
| Ort: | Mainz |
| Buchtitel: | Book of Abstracts on 4th International Target Fabrication Workshop |
| URL / URN: | http://targetfabrication.com/index.html |
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| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 04 Sep 2012 13:13 |
| Letzte Änderung: | 26 Aug 2018 21:27 |
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