Schlaak, Helmut F. ; Greiner, Felix ; Schneider, Jörg J. (2012)
Micro Nano Integration – Nano enhanced Microsystems.
In: Microsystems Technology in Germany 2012
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2012 |
| Autor(en): | Schlaak, Helmut F. ; Greiner, Felix ; Schneider, Jörg J. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Micro Nano Integration – Nano enhanced Microsystems |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 15 März 2012 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Microsystems Technology in Germany 2012 |
| URL / URN: | http://www.microsystems-technology-in-germany.de |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme 07 Fachbereich Chemie > Eduard Zintl-Institut > Fachgebiet Anorganische Chemie 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 07 Fachbereich Chemie |
| Hinterlegungsdatum: | 13 Mär 2012 08:22 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:59 |
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