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Integrationsorientierte Verfahren zur Herstellung hybrider Mikrosysteme INSIGHT, FKZ 16SV5053

Greiner, Felix ; Haus, Henry ; Quednau, Sebastian ; Schlaak, Helmut F. ; Staab, Matthias ; Winterstein, Thomas (2011)
Integrationsorientierte Verfahren zur Herstellung hybrider Mikrosysteme INSIGHT, FKZ 16SV5053.
Report, Bibliographie

Typ des Eintrags: Report
Erschienen: 2011
Autor(en): Greiner, Felix ; Haus, Henry ; Quednau, Sebastian ; Schlaak, Helmut F. ; Staab, Matthias ; Winterstein, Thomas
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Integrationsorientierte Verfahren zur Herstellung hybrider Mikrosysteme INSIGHT, FKZ 16SV5053
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 14 Dezember 2011
Reihe: BMBF Schlussbericht
URL / URN: http://opac.tib.uni-hannover.de/DB=1/SET=2/TTL=1/CMD?ACT=SRC...
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 09 Jan 2012 07:11
Letzte Änderung: 19 Apr 2016 08:34
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