TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Bestimmung chemischer Bindungen in dünnen Schichten von Borcarbonitrid BCxNy mit Hilfe von XPS und TXRF-NEXAFS

Baake, Olaf and Hoffmann, P. S. and Ensinger, Wolfgang and Klein, Andreas and Beckhoff, B. and Polakovski, P. and Ulm, G. and Trunova, V. A. and Kosinova, M. L. and Sulyaeva, V. S. and Rumjantsev, Yu. M. and Fainer, N. I. and Kuznetsov, F. A. (2011):
Bestimmung chemischer Bindungen in dünnen Schichten von Borcarbonitrid BCxNy mit Hilfe von XPS und TXRF-NEXAFS.
In: Zavodskaya Laboratoriya: diagnostika materialov, pp. 12-16, 77, (5), [Online-Edition: http://zldm.ru/content/article.php?ID=1134],
[Article]

Abstract

Определение химических связей в тонких слоях карбонитрида бора BCxNy методами РФЭС и TXRF-NEXAFS С помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и метода околокраевой тонкой структуры рентгеновского поглощения в комбинации с полным внешним отражением рентгеновской флуоресценции изучены типы связей в эталонных образцах гексагонального нитрида бора и карбида бора, а также в пленках BCxNy. Пленки карбонитрида бора были получены химическим осаждением из газовой фазы с использованием в качестве исходного вещества триметиламинборана и его смесей с водородом, гелием и аммиаком. При добавлении NH3 в газовую фазу в процессе синтеза пленок в спектрах появляются пики, характерные для эталонного образца h-BN. Полученные результаты свидетельствуют о наличии гексагонального окружения для бора, углерода и азота и могут быть объяснены образованием h-BN и графита, а также h-BCxNy.

Item Type: Article
Erschienen: 2011
Creators: Baake, Olaf and Hoffmann, P. S. and Ensinger, Wolfgang and Klein, Andreas and Beckhoff, B. and Polakovski, P. and Ulm, G. and Trunova, V. A. and Kosinova, M. L. and Sulyaeva, V. S. and Rumjantsev, Yu. M. and Fainer, N. I. and Kuznetsov, F. A.
Title: Bestimmung chemischer Bindungen in dünnen Schichten von Borcarbonitrid BCxNy mit Hilfe von XPS und TXRF-NEXAFS
Language: Russian
Abstract:

Определение химических связей в тонких слоях карбонитрида бора BCxNy методами РФЭС и TXRF-NEXAFS С помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и метода околокраевой тонкой структуры рентгеновского поглощения в комбинации с полным внешним отражением рентгеновской флуоресценции изучены типы связей в эталонных образцах гексагонального нитрида бора и карбида бора, а также в пленках BCxNy. Пленки карбонитрида бора были получены химическим осаждением из газовой фазы с использованием в качестве исходного вещества триметиламинборана и его смесей с водородом, гелием и аммиаком. При добавлении NH3 в газовую фазу в процессе синтеза пленок в спектрах появляются пики, характерные для эталонного образца h-BN. Полученные результаты свидетельствуют о наличии гексагонального окружения для бора, углерода и азота и могут быть объяснены образованием h-BN и графита, а также h-BCxNy.

Journal or Publication Title: Zavodskaya Laboratoriya: diagnostika materialov
Volume: 77
Number: 5
Divisions: 11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science > Material Analytics
11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science
11 Department of Materials and Earth Sciences
Date Deposited: 21 Nov 2011 16:47
Official URL: http://zldm.ru/content/article.php?ID=1134
Export:

Optionen (nur für Redakteure)

View Item View Item