TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Bestimmung chemischer Bindungen in dünnen Schichten von Borcarbonitrid BCxNy mit Hilfe von XPS und TXRF-NEXAFS

Baake, Olaf ; Hoffmann, P. S. ; Ensinger, Wolfgang ; Klein, Andreas ; Beckhoff, B. ; Polakovski, P. ; Ulm, G. ; Trunova, V. A. ; Kosinova, M. L. ; Sulyaeva, V. S. ; Rumjantsev, Yu. M. ; Fainer, N. I. ; Kuznetsov, F. A. (2011):
Bestimmung chemischer Bindungen in dünnen Schichten von Borcarbonitrid BCxNy mit Hilfe von XPS und TXRF-NEXAFS.
In: Zavodskaya Laboratoriya: diagnostika materialov, 77 (5), pp. 12-16. [Article]

Abstract

Определение химических связей в тонких слоях карбонитрида бора BCxNy методами РФЭС и TXRF-NEXAFS С помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и метода околокраевой тонкой структуры рентгеновского поглощения в комбинации с полным внешним отражением рентгеновской флуоресценции изучены типы связей в эталонных образцах гексагонального нитрида бора и карбида бора, а также в пленках BCxNy. Пленки карбонитрида бора были получены химическим осаждением из газовой фазы с использованием в качестве исходного вещества триметиламинборана и его смесей с водородом, гелием и аммиаком. При добавлении NH3 в газовую фазу в процессе синтеза пленок в спектрах появляются пики, характерные для эталонного образца h-BN. Полученные результаты свидетельствуют о наличии гексагонального окружения для бора, углерода и азота и могут быть объяснены образованием h-BN и графита, а также h-BCxNy.

Item Type: Article
Erschienen: 2011
Creators: Baake, Olaf ; Hoffmann, P. S. ; Ensinger, Wolfgang ; Klein, Andreas ; Beckhoff, B. ; Polakovski, P. ; Ulm, G. ; Trunova, V. A. ; Kosinova, M. L. ; Sulyaeva, V. S. ; Rumjantsev, Yu. M. ; Fainer, N. I. ; Kuznetsov, F. A.
Title: Bestimmung chemischer Bindungen in dünnen Schichten von Borcarbonitrid BCxNy mit Hilfe von XPS und TXRF-NEXAFS
Language: Russian
Abstract:

Определение химических связей в тонких слоях карбонитрида бора BCxNy методами РФЭС и TXRF-NEXAFS С помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и метода околокраевой тонкой структуры рентгеновского поглощения в комбинации с полным внешним отражением рентгеновской флуоресценции изучены типы связей в эталонных образцах гексагонального нитрида бора и карбида бора, а также в пленках BCxNy. Пленки карбонитрида бора были получены химическим осаждением из газовой фазы с использованием в качестве исходного вещества триметиламинборана и его смесей с водородом, гелием и аммиаком. При добавлении NH3 в газовую фазу в процессе синтеза пленок в спектрах появляются пики, характерные для эталонного образца h-BN. Полученные результаты свидетельствуют о наличии гексагонального окружения для бора, углерода и азота и могут быть объяснены образованием h-BN и графита, а также h-BCxNy.

Journal or Publication Title: Zavodskaya Laboratoriya: diagnostika materialov
Journal volume: 77
Number: 5
Divisions: 11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science > Material Analytics
11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science
11 Department of Materials and Earth Sciences
Date Deposited: 21 Nov 2011 16:47
Official URL: http://zldm.ru/content/article.php?ID=1134
Export:
Suche nach Titel in: TUfind oder in Google
Send an inquiry Send an inquiry

Options (only for editors)
Show editorial Details Show editorial Details