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Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen

Greiner, Felix ; Eberhardt, Johannes ; Schlaak, Helmut F. (2011)
Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen.
MikroSystemTechnik Kongress 2011. Darmstadt, Germany (10.10.2011-12.10.2011)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2011
Autor(en): Greiner, Felix ; Eberhardt, Johannes ; Schlaak, Helmut F.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 11 Oktober 2011
Verlag: VDE Verlag
Buchtitel: MikroSystemTechnik Kongress 2011: Proceedings
Veranstaltungstitel: MikroSystemTechnik Kongress 2011
Veranstaltungsort: Darmstadt, Germany
Veranstaltungsdatum: 10.10.2011-12.10.2011
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 02 Nov 2011 09:04
Letzte Änderung: 01 Sep 2022 07:12
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