Wisotzki, E. ; Balogh, Adam G. ; Hahn, H. ; Wolan, J. T. ; Hoflund, G. B. (1999)
Room-temperature growth of ZrO2 thin films using a novel hyperthermal oxygen-atom source.
In: Journal of Vacuum Science and Technology A, 17 (1)
doi: 10.1116/1.581547
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1999 |
| Autor(en): | Wisotzki, E. ; Balogh, Adam G. ; Hahn, H. ; Wolan, J. T. ; Hoflund, G. B. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Room-temperature growth of ZrO2 thin films using a novel hyperthermal oxygen-atom source |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 14 Juni 1999 |
| Verlag: | American Vacuum Society (AVS) |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of Vacuum Science and Technology A |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 17 |
| (Heft-)Nummer: | 1 |
| DOI: | 10.1116/1.581547 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Materialanalytik |
| Hinterlegungsdatum: | 14 Jun 2011 14:06 |
| Letzte Änderung: | 08 Apr 2020 14:35 |
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