Stark, R. W. ; Sakai Stalder, M. ; Stemmer, A. (2003)
Microfluidic etching driven by capillary forces for rapid prototyping of gold structures.
In: Microelectronic Engineering, 67-68
doi: 10.1016/S0167-9317(03)00076-5
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2003 |
| Autor(en): | Stark, R. W. ; Sakai Stalder, M. ; Stemmer, A. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Microfluidic etching driven by capillary forces for rapid prototyping of gold structures |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | Juni 2003 |
| Verlag: | Elsevier |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Microelectronic Engineering |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 67-68 |
| DOI: | 10.1016/S0167-9317(03)00076-5 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Zentrale Einrichtungen ?? fb99_csi~fg5 ?? |
| Hinterlegungsdatum: | 21 Jun 2010 11:29 |
| Letzte Änderung: | 22 Apr 2020 13:17 |
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