Bauer, M. ; Gigler, A. M. ; Richter, C. ; Stark, R. W. (2008)
Visualizing stress in silicon microcantilevers using scanning confocal Raman spectroscopy.
In: Microelectronic Engineering, 85 (5-6)
doi: 10.1016/j.mee.2008.01.089
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2008 |
| Autor(en): | Bauer, M. ; Gigler, A. M. ; Richter, C. ; Stark, R. W. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Visualizing stress in silicon microcantilevers using scanning confocal Raman spectroscopy |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 8 Februar 2008 |
| Verlag: | Elsevier |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Microelectronic Engineering |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 85 |
| (Heft-)Nummer: | 5-6 |
| DOI: | 10.1016/j.mee.2008.01.089 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Zentrale Einrichtungen ?? fb99_csi~fg5 ?? |
| Hinterlegungsdatum: | 08 Jun 2010 06:58 |
| Letzte Änderung: | 28 Apr 2020 11:54 |
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