Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Weiss, B. L. ; Wilson, R. J. (1995)
Fabrication of free-standing membranes in n-GaAs using MeV nitrogen implantation for sensors.
Fall meeting of Materials Research Society. Boston, Mass. (27.11.1995-01.12.1995)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Weiss, B. L. ; Wilson, R. J. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Fabrication of free-standing membranes in n-GaAs using MeV nitrogen implantation for sensors |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1995 |
| Buchtitel: | Fall meeting of Materials Research Society, 1995, Boston, USA : Proceedings |
| Veranstaltungstitel: | Fall meeting of Materials Research Society |
| Veranstaltungsort: | Boston, Mass. |
| Veranstaltungsdatum: | 27.11.1995-01.12.1995 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:58 |
| Letzte Änderung: | 13 Dez 2023 17:54 |
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