Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Rück, D. ; Fricke, K. (1995)
The use of ion implantation for micromachining of GaAs for sensor applications.
In: Sensors and Actuators A : Physical, 46 (1/3)
doi: 10.1016/0924-4247(94)00855-C
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Miao, Jianmin ; Hartnagel, Hans L. ; Rück, D. ; Fricke, K. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | The use of ion implantation for micromachining of GaAs for sensor applications |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1995 |
| Verlag: | Elsevier |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Sensors and Actuators A : Physical |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 46 |
| (Heft-)Nummer: | 1/3 |
| DOI: | 10.1016/0924-4247(94)00855-C |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:28 |
| Letzte Änderung: | 22 Jul 2024 06:57 |
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