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Gate Dielectrics: Process Integration Issues and Electrical Properties

Schwalke, Udo (2005)
Gate Dielectrics: Process Integration Issues and Electrical Properties.
In: Journal of Telecommunications and Technology, 1
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2005
Autor(en): Schwalke, Udo
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Gate Dielectrics: Process Integration Issues and Electrical Properties
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 2005
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Journal of Telecommunications and Technology
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 1
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:22
Letzte Änderung: 20 Feb 2020 13:25
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