Schwalke, Udo (2001)
Progress in Device Isolation Technology.
In: Microelectronis Reliability, 41 (4)
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2001 |
| Autor(en): | Schwalke, Udo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Progress in Device Isolation Technology |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2001 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Microelectronis Reliability |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 41 |
| (Heft-)Nummer: | 4 |
| URL / URN: | http://dx.doi.org/10.1016/S0026-2714(00)00259-6 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:28 |
| Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:27 |
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