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Micromachined pressure sensors with AlGaAs/GaAs- and InAs/AlSb/GaSb-resonant tunneling diodes

Mutamba, Kabula ; Sigurdardottir, A. ; Vogt, Alexander ; Pfeiffer, J. ; Behner, U. ; Di Carlo, A. ; Hartnagel, H. L. :
Micromachined pressure sensors with AlGaAs/GaAs- and InAs/AlSb/GaSb-resonant tunneling diodes.
In: Annual Device Research Conference <57, 1999, Santa Barbara, Calif.>: Digest .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1999)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1999
Autor(en): Mutamba, Kabula ; Sigurdardottir, A. ; Vogt, Alexander ; Pfeiffer, J. ; Behner, U. ; Di Carlo, A. ; Hartnagel, H. L.
Titel: Micromachined pressure sensors with AlGaAs/GaAs- and InAs/AlSb/GaSb-resonant tunneling diodes
Sprache: Englisch
Reihe: Annual Device Research Conference <57, 1999, Santa Barbara, Calif.>: Digest
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:22
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