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Enhanced Conductivity and Microstructure in Highly Textured TiN1−x/c‑Al2O3 Thin Films

Zintler, Alexander ; Eilhardt, Robert ; Petzold, Stefan ; Ulhas, Sharath ; Bruder, Enrico ; Kaiser, Nico ; Alff, Lambert ; Molina-Luna, Leopoldo (2022)
Enhanced Conductivity and Microstructure in Highly Textured TiN1−x/c‑Al2O3 Thin Films.
In: ACS Omega, 2022
doi: 10.1021/acsomega.1c05505
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2022
Autor(en): Zintler, Alexander ; Eilhardt, Robert ; Petzold, Stefan ; Ulhas, Sharath ; Bruder, Enrico ; Kaiser, Nico ; Alff, Lambert ; Molina-Luna, Leopoldo
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Enhanced Conductivity and Microstructure in Highly Textured TiN1−x/c‑Al2O3 Thin Films
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 3 Januar 2022
Verlag: ACS Publications
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: ACS Omega
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 2022
DOI: 10.1021/acsomega.1c05505
URL / URN: https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsomega.1c05505
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Elektronenmikroskopie
Hinterlegungsdatum: 05 Jan 2022 07:38
Letzte Änderung: 05 Jan 2022 07:38
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