Zintler, Alexander ; Eilhardt, Robert ; Petzold, Stefan ; Ulhas, Sharath ; Bruder, Enrico ; Kaiser, Nico ; Alff, Lambert ; Molina-Luna, Leopoldo (2022)
Enhanced Conductivity and Microstructure in Highly Textured
TiN1−x/c‑Al2O3 Thin Films.
In: ACS Omega, 2022
doi: 10.1021/acsomega.1c05505
Artikel, Bibliographie
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| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2022 |
| Autor(en): | Zintler, Alexander ; Eilhardt, Robert ; Petzold, Stefan ; Ulhas, Sharath ; Bruder, Enrico ; Kaiser, Nico ; Alff, Lambert ; Molina-Luna, Leopoldo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Enhanced Conductivity and Microstructure in Highly Textured TiN1−x/c‑Al2O3 Thin Films |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 3 Januar 2022 |
| Verlag: | ACS Publications |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | ACS Omega |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 2022 |
| DOI: | 10.1021/acsomega.1c05505 |
| URL / URN: | https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsomega.1c05505 |
| Zugehörige Links: | |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Elektronenmikroskopie |
| Hinterlegungsdatum: | 05 Jan 2022 07:38 |
| Letzte Änderung: | 03 Jul 2024 02:55 |
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Verfügbare Versionen dieses Eintrags
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Enhanced Conductivity and Microstructure in Highly Textured TiN1–x/c-Al2O3 Thin Films. (deposited 11 Mai 2022 13:14)
- Enhanced Conductivity and Microstructure in Highly Textured TiN1−x/c‑Al2O3 Thin Films. (deposited 05 Jan 2022 07:38) [Gegenwärtig angezeigt]
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