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Silicon-CMOS Compatible Transfer-Free Fabrication of Nanocrystalline Graphene Field-Effect Devices for Smart Gas-Sensor Applications

Schwalke, Udo ; Noll, Dennis (2019)
Silicon-CMOS Compatible Transfer-Free Fabrication of Nanocrystalline Graphene Field-Effect Devices for Smart Gas-Sensor Applications.
Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM). Singapore, Singapore (12.03.2019-15.03.2019)
doi: 10.1109/EDTM.2019.8731320
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2019
Autor(en): Schwalke, Udo ; Noll, Dennis
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Silicon-CMOS Compatible Transfer-Free Fabrication of Nanocrystalline Graphene Field-Effect Devices for Smart Gas-Sensor Applications
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: März 2019
Ort: Singapore, Singapore
Veranstaltungstitel: Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM)
Veranstaltungsort: Singapore, Singapore
Veranstaltungsdatum: 12.03.2019-15.03.2019
DOI: 10.1109/EDTM.2019.8731320
URL / URN: https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/8731320
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Hinterlegungsdatum: 30 Jul 2019 09:55
Letzte Änderung: 30 Jul 2019 09:55
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