Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk ; Zeyher, P. ; Schlaak, Helmut F. (2002):
Planare Schrittantriebe für miniaturisierte Positioniersysteme.
In: Technische Universität <Ilmenau>: Internationales wissenschaftliches Kolloquium, Tagungsband, 47, [Conference or Workshop Item]