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Planare Schrittantriebe für miniaturisierte Positioniersysteme

Jungnickel, Uwe and Eicher, Dirk and Zeyher, P. and Schlaak, Helmut F. (2002):
Planare Schrittantriebe für miniaturisierte Positioniersysteme.
In: Technische Universität <Ilmenau>: Internationales wissenschaftliches Kolloquium, Tagungsband, 47, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2002
Creators: Jungnickel, Uwe and Eicher, Dirk and Zeyher, P. and Schlaak, Helmut F.
Title: Planare Schrittantriebe für miniaturisierte Positioniersysteme
Language: German
Series Name: Technische Universität <Ilmenau>: Internationales wissenschaftliches Kolloquium, Tagungsband
Volume: 47
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
Date Deposited: 20 Nov 2008 08:22
License: [undefiniert]
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