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Conradi, T. ; Hubenthal, F. ; Röll, K. ; Stobiecki, T. ; Thoma, K. ; Berg, G. ; Broszeit, E. ; Bauer, S. ; Bock, W. ; Scheib, M. ; Wiescher, D. ; Oechsner, H. (1998)
Spannungsanisotropie und Struktur von TiN-Schichten.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 29 (9)
doi: 10.1002/mawe.19980290906
Artikel, Bibliographie