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1995
Stobiecki, T. ; Stobiecki, F. ; Conradi, T. ; Kraegermann, S. ; Röll, K. ; Berg, G. (1995)
RFA as control method of the reactive sputtering process on TiN films.
In: Fresenius Journal of Analytical Chemistry, 353
doi: 10.1007/BF00321317
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