Artikel

Dehé, Alfons ; Peerlings, J. ; Pfeiffer, J. ; Riemenschneider, R. ; Vogt, A. ; Streubel, K. ; Künzel, H. ; Meißner, P. ; Hartnagel, H. L. (1998)
III-V Compound semiconductor micromachined actuators for long resonator tunable Fabry-Pérot detectors.
In: Sensors and Actuators A : Physical, 68 (1-3)
doi: 10.1016/S0924-4247(98)00071-5
Artikel, Bibliographie

Konferenzveröffentlichung

Pfeiffer, Joachim ; Peerlings, J. ; Riemenschneider, R. ; Genovese, R. ; Aziz, M. ; Goutain, E. ; Künzel, H. ; Görtz, W. ; Böhm, G. (1999)
InAlGaAs bulk-micromachined tunable Fabry-Pérot filter for dense WDM systems.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie