Dehé, Alfons ; Peerlings, ; Pfeiffer, ; Riemenschneider, ; Vogt, ; Streubel, ; Künzel, ; Meißner, ; Hartnagel,
:
III-V Compound semiconductor micromachined actuators for long resonator tunable Fabry-Pérot detectors.
In:
Sensors and actuators. 68 (1998), S. 365-371
[Artikel], (1998)
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1998 |
| Autor(en): | Dehé, Alfons ; Peerlings, ; Pfeiffer, ; Riemenschneider, ; Vogt, ; Streubel, ; Künzel, ; Meißner, ; Hartnagel, |
| Titel: | III-V Compound semiconductor micromachined actuators for long resonator tunable Fabry-Pérot detectors |
| Sprache: | Englisch |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Sensors and actuators. 68 (1998), S. 365-371 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:29 |
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