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III-V Compound semiconductor micromachined actuators for long resonator tunable Fabry-Pérot detectors

Dehé, Alfons ; Peerlings, ; Pfeiffer, ; Riemenschneider, ; Vogt, ; Streubel, ; Künzel, ; Meißner, ; Hartnagel, :
III-V Compound semiconductor micromachined actuators for long resonator tunable Fabry-Pérot detectors.
In: Sensors and actuators. 68 (1998), S. 365-371
[Artikel], (1998)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1998
Autor(en): Dehé, Alfons ; Peerlings, ; Pfeiffer, ; Riemenschneider, ; Vogt, ; Streubel, ; Künzel, ; Meißner, ; Hartnagel,
Titel: III-V Compound semiconductor micromachined actuators for long resonator tunable Fabry-Pérot detectors
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Sensors and actuators. 68 (1998), S. 365-371
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:29
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