Dehé, Alfons ; Peerlings, J. ; Pfeiffer, J. ; Riemenschneider, R. ; Vogt, A. ; Streubel, K. ; Künzel, H. ; Meißner, P. ; Hartnagel, H. L. (1998)
III-V Compound semiconductor micromachined actuators for long resonator tunable Fabry-Pérot detectors.
In: Sensors and Actuators A : Physical, 68 (1-3)
doi: 10.1016/S0924-4247(98)00071-5
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1998 |
| Autor(en): | Dehé, Alfons ; Peerlings, J. ; Pfeiffer, J. ; Riemenschneider, R. ; Vogt, A. ; Streubel, K. ; Künzel, H. ; Meißner, P. ; Hartnagel, H. L. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | III-V Compound semiconductor micromachined actuators for long resonator tunable Fabry-Pérot detectors |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 15 Juni 1998 |
| Verlag: | Elsevier |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Sensors and Actuators A : Physical |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 68 |
| (Heft-)Nummer: | 1-3 |
| DOI: | 10.1016/S0924-4247(98)00071-5 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:29 |
| Letzte Änderung: | 14 Jan 2022 11:46 |
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