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Deutsch
Greiner, F. ; Schlaak, Helmut F. ; Tschulena, G. ; Korb, W. (2009)
Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik.
In: Schriftenreihe der Aktionslinie Hessen-Nanotech des Hessischen Ministeriums für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung., 13 (1)
Artikel, Bibliographie
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